прибор для измерения профиля распределения легирующей примеси

legiravimo priemaišų profilio matuoklis statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. doping profiler vok. Dotierungsprofilmesser, m rus. прибор для измерения профиля распределения легирующей примеси, m pranc. profilomètre de dopage, m